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化学酸碱蚀刻过程用PFA晶舟盒耐腐蚀光伏电池片卡匣电池片花篮光伏载具

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化学酸碱蚀刻过程用PFA晶舟盒耐腐蚀光伏电池片卡匣电池片花篮光伏载具

承载半导体晶圆片/硅片的容器，可依照客户需求设计，全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性，耐高温-200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。

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PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒

为承载半导体晶圆片/硅片的容器，可依照客户需求设计，全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性，

耐高温-200~220℃、

耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，

主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。

进入化学酸、碱蚀刻制程中，铁氟龙卡匣需要靠手把夹持，可搭配铁氟龙手把使用。

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